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超純水粒子計數器評判標準：

JJG 1061-2010《液體顆粒計數器檢定規范》

SJ/T 11638-2016《電子化學品中顆粒的測試方法》

GB/T 29024.2-2016《粒度分析 單顆粒的光學測量方法 第2部分：液體顆粒計數器光散射法》

GBT 11446.3-2013《電子級水測試方法通則》

GBT 11446.9-2013《電子級水中微粒的儀器測試方法》

ISO 21501-2:2007《Determination of particle size distribution — Single particle light interaction methods — Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter》